VAT Valve控制阀VAT Valve 67.0

VAT Valve控制阀VAT Valve 67.0

67.0 对称控制阀

流量优化压力控制

指定您的产品

最大限度地提高质量和生产力

67.0系列设计用于半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺，用作下游控制和隔离阀。

工艺腔室中的气流特性直接影响工艺速度和质量。虽然气体流入传统上在工艺设计中受到的关注最多，但下游气流也提供了工艺优化的潜力。

通常，晶圆周围的气流越均匀，晶圆上的气体反应就越均匀和同步。

这不仅在气体引入阶段如此，而且在气体从腔室中排出时也是如此。出口位置设计或阀门运行期间产生的流路变化会产生不对称的气体分布，从而阻碍废气或产生不均匀的流速。两者都可能对晶圆造成负面影响，其形式是不同的气体暴露时间和不平衡的对流。两者还可能导致更高的工艺气体消耗和更长的工艺时间。

在整个工艺周期内优化气流设计就是答案。67.0对称控制阀为这种方法提供了新的基石。

流量优化设计还允许以新的方式设计工艺腔室。通过其特殊的打开和关闭机构，气体流量在整个打开和关闭循环中是对称的，从而实现前所未有的流量和压力控制。“柔软触感”隔离功能更是锦上添花。67.0的移动是如此温和，以至于避免了任何收盘震荡。这消除了粒子活化。

67.0的另一个优势是其有限的占地面积。与其他解决方案相比，它需要的安装空间更少。

结合流量优化的淋浴喷头和腔室设计，67.0可实现前所未有的全新过程控制水平。它为提高产量质量和缩短周期时间打开了大门，并随之提高了生产率。

格施洛森

奥芬

67.0 对称控制阀的 DN 250 – 450 mm （10“ – 18”） 规格主体

材料可以是空白或硬阳极氧化铝。泵侧的标准法兰是 ISO-F 或 JIS。腔室法兰是专有的。法兰、板和执行器用弹性体密封。贯穿件采用波纹管密封。板式加热器是一种选择。

67.0 由两个同步线性驱动器驱动，带有闭环控制步进电机。现代 32 位控制器

可通过 PC 或 PCU 通过各种标准端口进行连接。特殊控制性能分析仪（CPA）软件可以详细监控67.0以及调整循环运动。

67.0 的布局为 200 万个控制周期和 200 000 个隔离周期，直到首次服务。可以快速轻松地完成密封件更换等维护要求。