VAT Valve控制阀VAT Valve 64.2
VAT Valve控制阀VAT Valve 64.2

64.2 高压控制闸阀

用于高循环真空控制和隔离

为标准真空过程提供可靠、精确的控制

64.2 HV 控制闸阀设计用于在半导体生产中的溅射或蚀刻工艺等高循环真空工艺中实现可靠、精确的控制和隔离。它满足了耐用性、模块化和可维护性的标准要求，特别关注高正常运行时间和低拥有成本。

64.2 配备了 VATLOCK 技术，可提供可靠的密封，而不会在板上产生任何摩擦。该板充当节流元件，并改变阀门开口的电导率。板载压力控制器计算所需的板位置，以达到定义的设定点压力。步进电机通过编码器监控板位置来执行致动。这确保了快速准确的过程压力控制。关闭位置的特殊VATLOCK登录机制可确保泄漏紧密隔离，并在断电的情况下进行故障安全关闭。

64.2 已经安装在各种工艺条件下的数千种要求苛刻的应用中，证明了其出色的可靠性。凭借其坚固的设计，它满足了高循环真空控制闸阀的所有要求。

为确保与各种真空应用的最佳集成，64.2 高压控制阀提供不同的设计变体，包括密封材料、法兰连接、粗加工（旁通）、排气或压力表连接以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软泵）选项。

如果需要将 64.2 安装在有限的安装空间内，则执行器和控制器可以安装在阀体上的不同位置。此外，控制器可以安装在与阀门执行器分离的位置。

该系列的尺寸从 DN 63 - 400mm （2.5“ - 16”）。

64.2 高压控制闸阀的主要特点

特征：

可靠、成熟的设计

华创科技

坚固的不锈钢机身

高循环设计

好处：

可靠、精确的控制和隔离性能

延长免维护周期

低拥有成本

技术参数

大小 DN 63 （21/2“）， DN 80 （3”）， DN 100 （4“），

DN 160 （6”）， DN 200 （8“）， DN 250 （10”），

DN 320 （12“）， DN 350 （14”）， DN 400 （16“）

驱动器 带步进电机的集成压力控制器

阀体材料 不锈钢

贯穿件 旋转贯穿件

标准法兰 ISO-F， CF-F， ASA-LP/ASA， JIS

泄漏率 阀体、阀座 < 1 × 10-9毫巴 ls-1

压力范围 DN 63 – 200

DN 250–400 10×-8毫巴至 2 巴（绝对）

1 × 10-8毫巴至 1.2 巴（绝对）

浇口压差（关闭） DN 63 – 200

DN 250–400 ≤ 2 巴

≤ 1.2 巴

开口时的压差 ≤ 30 毫巴

周期直到第一次维修 压力控制

关闭/打开 1 百万

200 000

温度 阀体

控制器 ≤ 150°C

最高 50°C（建议≤ 35 °C）

材料 阀体，阀门闸板 爱思 304 （1.4301）

  机制 AISI 301 （1.4310）， AISI 304 （1.4301），

AISI 420 （1.4034）， AISI 420D （1.4037），

AISI 430 （1.4016）

密封 阀盖、浇口、馈通 氟橡胶（氟橡胶®）

安装位置 DN 63 – 350

DN 400 任何

水平

阀门位置指示 视觉（机械和控制器）