INFICON SKY CDG100D 压力计

INFICON SKY CDG100D 压力计产品介绍

SKY® CDG100D - 100°C - 高温应用的卓越性能

INFICON SKY CDG100D 压力计是准确测量和控制总压力的最佳选择。CDG100D 真空计的温度控制在 100 °C，可在要求苛刻的半导体和等离子工艺中提供卓越的性能。它们适用于从 100 mTorr 到 1000 Torr 的满量程范围，具有所有常见的法兰类型和现场总线接口，并提供线性 0 到 10 V、与气体类型无关的压力信号。INFICON 电容压力计使用耐腐蚀的超纯氧化铝陶瓷隔膜。陶瓷传感器的优点是信号稳定性更好、从大气中恢复更快、预热时间短和使用寿命长。INFICON CDG 是高质量、经济高效的压力传感器，适用于要求严苛的半导体、等离子体和真空应用。

INFICON SKY CDG100D 压力计优势

更低的 CoO（拥有成本），预热速度加快 50%，节能低功耗

易于集成，各种满量程、法兰和接口，标配两个设定点

简单的一键式或远程信号零指令，零偏移可调

用于快速服务和维护的诊断端口

两年质保，先进的加热理念和仪表保护，使用寿命更长

由于出色的信号稳定性和可重复性，即使在苛刻的等离子体应用中也无需长期重新校准

合规性和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

INFICON SKY CDG100D 压力计典型应用

蚀刻、CVD、PVD等半导体生产工艺

化学和腐蚀性高温过程

需要量规保护的一般薄膜和真空工艺