众所周知，由于反射损耗高，晶体材料的太赫兹透射率不高（HRFZ-Si的透射率仅为~54%，太赫兹级晶体石英的透射率约为70%）。但是，太赫兹AR镀膜可以降低反射损耗。我们提供聚对二甲苯涂料。

用于平面表面的Parylene涂层技术在微电子学中是众所周知的。我们对其进行了改进，以实现光学表面（平面和球面）上的涂层。因此，聚对二甲苯涂层用于窗户和镜片。

AR镀膜波长范围由客户指定。可以制造AR涂层，其范围从60μm到1300μm。

提供以下增材玻璃涂层：

1. 双面增透膜

它用于窗户和半月板镜片。由于AR涂层的透射率为≥90%的波长，AR涂层以为中心。下面显示了聚对二甲苯涂层和未涂层HRFZ-Si和晶体石英窗口的透射曲线示例。

无涂层和双面涂层HRFZ-Si窗户的传输。AR涂层的中心为120μm。

图 1.А.无涂层和双面涂层HRFZ-Si窗户的传输。AR涂层的中心为120μm。

无涂层和双面涂层HRFZ-Si窗户的传输。AR涂层的中心为330μm。

图 1.В.无涂层和双面涂层HRFZ-Si窗户的传输。AR涂层的中心位于330μm.

无涂层和双面涂层水晶石英窗的传输。AR涂层的中心为158μm。

图1.С.无涂层和双面涂层晶体石英窗口的透射率。AR涂层的中心为158μm。

实验证实，聚对二甲苯涂层部件可以在低温下使用。

具有以860μm为中心的双面涂层的结晶石英窗经过热循环，具有以下参数：

从室温冷却到77K，30次循环，

从室温冷却到4.2K，3个周期。

在热循环之前和之后测量透射率光谱（图2A）。在显微镜下研究了Parylene涂层表面（图2.B）。薄膜在低温下不会降解。透射率保持不变。*

热循环前后双面涂层结晶窗口的透射率光谱

图 2.А.热循环前后具有双面涂层的晶体窗口的透射率光谱。*

在热循环之前和之后具有双面涂层的结晶窗口表面。

图 2.В.在热循环之前和之后具有双面涂层的结晶窗口表面。*

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*  数据由Erik Heinz из Supracon AG博士提供，德国

2。单面增透膜

通常它适用于半球透镜。平面透镜表面没有涂层，因为透镜在太赫兹TDS设置或超导辐射热计中用作光电导天线。目前，以99 um至125 um为中心范围的AR涂层是为某些特定应用开发的。AR镀膜可将半球透镜的透射率提高30%。由于半球形透镜的形状很难测量其透射率，因此我们模拟了AR镀膜和无镀膜透镜的透射曲线（请参阅下面的透镜）。

我们的一位客户获得的实验结果证实了由于AR涂层而导致的透射率增加。使用单侧涂层超半球透镜时，他的仪器的功率增益在111 um时约为30-50%。