POLYTEC 分析仪 MSA-100-3D

POLYTEC 分析仪 MSA-100-3D

MSA-100-3D

微系统分析仪

MEMS 和微系统的 3D 振动测量

MEMS 和微系统的 3D 振动测量

真实物体的振动通常是三维的。虽然您确实可以显示优先方向，但生产公差和其他影响也会导致其他空间方向的运动组件。您可以使用 MSA-100-3D 微系统分析仪以集成方式、宽带宽和实时分析样品的动态行为。所有三个空间方向上的振动分量以高分辨率同时记录，并作为集成数据记录进行分析。无论振动方向如何，您都可以实现激光测振仪典型的亚皮米振幅分辨率。

实时振动测量，带宽高达 25 MHz

平面外和面内运动的亚皮米振幅分辨率

单点和全场测量

小于 4 μm 的小激光光斑可实现最大的横向分辨率

38 mm 的宽支座距离

与常见的MEMS探针台兼容

因为现实生活发生在3D中

Polytec MSA-100-3D 具有由微观激光光斑引起的高横向分辨率和高达 25 MHz 的频率带宽，是检定微机电传感器和执行器 （MEMS）、其他微观结构和生物样品的理想测量设备。对于全场表征，MSA-100-3D通过让软件扫描样品，然后以图形方式表示挠度形状来分析整个表面上的样品。

高性能激光多普勒测振仪提供快速、实时的响应测量，位移分辨率低于 pm。白光干涉仪选件可在数秒内提供数百万个 3D 表面数据。MSA-600辅以简单的操作和直观的用户界面，是研究，开发（R&D）和质量控制（QC）中强大的光学测量解决方案。微系统分析仪与普通探针台兼容，可在开发的所有阶段（从MEMS原型设计到测试和故障排除）为您提供帮助，从而帮助您降低生产成本并缩短上市时间。