LEYBOLD真空泵WAU501

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LEYSPEC残余气体分析仪（RGA）产品系列可实现简单直观的操作。

只需按一下按钮，您就可以显示关键气体的分压，如果您的工艺涉及额外的气体，则可以将其分配到备用显示通道。

由于可实现高烘烤温度，LEYSPEC非常适合用于要求苛刻的高真空和超高真空应用。

加工

原则

测量池是热阴极电离真空计。电子从热丝发射，并通过电偏置加速到源极。快速移动的电子与气体分子碰撞，使电子移位，从而使它们电离。正气体离子向负负载离子收集器提供电流。离子电流与压力成正比。离子越多，离子电流越高。四极杆阵列由四根不锈钢棒组成。对所有杆施加直流和高频电压。这会产生一个复杂的磁场。通过改变电压，可以控制磁场。

由此产生的振动仅允许特定质量的离子“飞过”它并到达检测部分：

具有适当质量电荷比（m / e）的离子将通过两极以稳定的三维轨迹振荡。

不正确的m / e离子会失控振荡并与极点碰撞

离子到达离子收集器并提供输出电流，该输出电流是通过滤波器的离子相对丰度的量度。然后，离子电流或分压与m / z比显示在装置或软件中。

基于所述的工作原理，LEYSPEC RGA通过查找和显示气体成分来验证气体纯度。这使得LEYSPEC能够识别气体污染物并执行进一步的过程和设备控制，以全面优化过程性能和产量。

由于其高灵敏度，LEYSPEC残余气体分析仪可以检测非常小的痕量污染物或工艺气体。产品范围包括适用于 100、200 和 300 amu 的解决方案。烘烤温度可达 300 °C，可在恶劣环境中运行。

LEYSPEC可以使用自己的软件以及集成的控制和显示单元直观地操作。无需将其连接到计算机即可进行简单的残余气体分析。只需按一下按钮即可显示关键气体，并设有备用显示屏，因此可以显示其他气体。

它们也适用于高真空系统中要求苛刻的测试程序和残余气体分析。

凭借LEYSPEC的预装功能，如氦气泄漏测试，可选气体的警告和错误水平以及启动或排气后的脱气功能，该残余气体分析仪是任何系统的绝佳补充。

移动式残留物分析仪系统

LEYSPEC推车带有完全集成的差速泵送系统，可实现最大的灵活性和易于操作。

它是一个完全独立的泵送系统，可轻松适应各种测量任务，在各种压力下具有快速的运行就绪性和可操作性。