KEYENCE位移传感器 SJ-M300

KEYENCE位移传感器 SJ-M300

表面扫描激光共焦位移计

SJ-M300 系列传感器将表面扫描的优势与共焦设置相结合，提供高分辨率位移测量。这些位移计使用仅 ø2 µm (ø0.000079") 的微小光束点，该光束点穿过表面以在微观目标和特征上产生稳定的结果。表面扫描可对倾斜或粗糙表面进行高精度测量，而共焦设计提高了薄膜的可靠性，使 LT-9000 系列非常适合任何需要高性能的应用。内置摄像头可捕捉表面的清晰图像，便于识别测量位置并适当对齐传感器。

特征

高精度表面扫描方法

0.01 万 (0.3 µm) 的出色分辨率

快速简便的设置功能

适用于广泛应用的多种测量模式

KEYENCE 的一维激光位移传感器能够以非接触方式测量目标的高度、位置或距离。通过配对多个传感器，还可以进行厚度和宽度等测量。高精度位移传感器可分为两类：共焦和激光三角测量。两者都为非接触式测量提供准确、可靠的解决方案，但根据应用，一种类型可能比另一种更具优势。

下面介绍一维激光位移传感器的各种类型、测量原理和优势。

多色共焦法

共焦位移传感器在同一轴上发射和接收光。多色共焦传感器使用发射多种颜色（波长）光的光源，每种颜色（波长）都有独特的焦距。传感器通过检测当前聚焦在目标上的颜色来测量到表面的距离。Keyence 的 CL-3000 系列传感器采用比传统型号更亮的光源，无论表面的反射率如何，都能在整个范围内产生稳定的测量结果。

激光三角法

基于激光三角测量的位移传感器利用从目标反射的光的返回角来计算位置。激光从传感器发射并被目标表面反射。一些反射光通过透镜聚焦到传感器头中的接收元件上。根据目标与传感器的距离，光的返回角度会发生变化，照射到接收器上的不同位置，这可以被检测到。LK-G5000 系列采用高分辨率 CMOS 来稳定测量微小的位移变化。

共焦表面扫描法

表面扫描共焦激光位移计利用音叉快速振动物镜。这会在测量范围内高速上下移动激光的焦点。反射光聚焦在针孔上，其中一些光通过针孔到达光接收元件。当光聚焦在目标上时，更强的光通过针孔，物镜的位置被记录下来并与目标位置相关联。KEYENCE 的 LT-9000 系列使用音叉在 z 轴上进行扫描，并在 x 轴上使用振荡单元进行扫描，在采用 ø2 µm 的超细光束点的同时实现了高精度和稳定性。