THIERRY 离子 PF0873
THIERRY 离子 PF0873

当制造商在没有适当控制的情况下使用等离子切割系统来降低启动价格时，产品质量会受到影响，从而导致废品增加，这反过来又会给公司带来额外的资金。最终，浪费的资金将超过实际系统升级的成本。

推荐的解决方案是利用具有可重复过程控制的系统。这将使均匀的等离子体活化，从而实现更好的粘合，增加爆破压力，改善产品性能和最小的废品率。

为了确保您选择正确的等离子体系统来有效地处理微流体设备的PDMS，重要的是要了解哪些系统不能很好地工作。例如，具有电容耦合电极的等离子体系统如果配置不正确，可能会导致问题。这种类型的系统具有缠绕在真空室周围的导线作为电极 - 如果电极没有针对均匀性进行优化，则等离子体将不均匀，电极会在等离子体中产生热点。

带有金属腔室的等离子体系统也不适合PDMS键合。使用金属腔室可以产生微观颗粒，这些颗粒可以在粘合设备上的表面之间产生非接触式口袋，从而导致产品故障。

使用含有Krytox，Fomblin或其他含PFPE的流体的真空泵也会损坏PDMS设备。这些泵送液含有氟硅，很难从表面上清除。它们还可以通过接触式传输在整个实验室或制造设施中轻松迁移。一旦设施被氟硅污染，就极难清洁。

利用可重复过程控制的等离子体系统可实现准确、均匀的等离子体活化，并可以一遍又一遍地可靠地复制。这将消除“工匠”方法，这种方法需要人工操作员不断手动调整过程，以实现相对一致的生产结果

最佳活化产生最佳粘合。这导致爆破压力增加，从而获得更好的器件可靠性和更高的整体生产良率。为了实现这一目标，许多因素都会发挥作用：精确的压力控制、气体稳定定时、过程定时和良好的功率控制。这些精确的参数可以区分质量一致的微流体装置和失败的产品。

使用上面提供的见解作为一组标准的一部分，以确定在特定设备制造过程中成功进行等离子体处理所需的特征。其他注意事项包括：

• 您将使用的 PDMS 类型及其配方
• 要粘合的材料
• 如何控制颗粒物和固化时间
• 设备的物理特性