满量程/压力等级/入口防护等级

PN 10 bar – IP40 PN 10 bar – IP65

F-100D   |  0.2 … 20 mln/min F-100DI  |  0.2 … 20 mln/min

F-101D   |  0.42 … 2.1 ln/min F-101DI  |  0.42 … 2.1 ln/min

F-101E   |  0.028 … 12 ln/min F-101EI  |  0.028 … 12 ln/min

F-102D   |  0.28 … 25 ln/min F-102DI  |  0.28 … 25 ln/min

F-102E  |  0.17 … 50 ln/min F-102EI  |  0.17 … 50 ln/min

F-103D   |  0.8 … 150 ln/min F-103DI  |  0.8 … 150 ln/min

F-103E   |  0.9 … 200 ln/min F-103EI  |  0.9 … 200 ln/min

F-106Z   |  0.2 … 1000 m3n/h

F-107Z   |  0.2 … 1000 m3n/h

质量流量控制器

满量程/压力等级/入口防护等级

PN 10 bar – IP40 PN 10 bar – IP65

F-200DV  |  0.2 … 20 mln/min F-200DI   |  0.2 …20 mln/min

F-201DV  |  0.42 … 2.1 ln/min F-201DI   |  0.42 … 2.1 ln/min

F-201EV  |  0.028 … 12 ln/min F-201EI   |  0.028 … 12 ln/min

F-202DV  |  0.28 … 25 ln/min F-202DI   |  0.28 … 25 ln/min

F-202EV  |  0.17 … 50 ln/min F-202EI   |  0.17 … 50 ln/min

F-201DS  |  0.42 … 2.1 ln/min

F-201ES  |  0.028 … 12 ln/min

特征

超低压降

适用腐蚀性气体，适用寿命长

降低污染风险

便于清洁

接液部件为电抛光不锈钢材质

可选配控制阀，形成完整、紧凑的控制回路

可选配工业（IP65)防护外壳，可选ATEX Zone 2 Cat. 3 or FM Class I, Div. 2

应用

大气条件下的环境空气采样

泄漏率测试

低压气体分配系统中的气体气消耗量测量，例如天然气

燃烧炉控制

应用案例

金刚石沉积HFCVD