坚固且多功能的 Cesar平台提供一致的射频功率传输性能，以及多种型号选择，每种型号都具有一组独特的特性和功能（2、4、13.56、27.12 和 40.68 MHz；0.3 至 5 kW；具有多种用户界面和输入选项）。 这使您能够选择一个特别适合您的应用程序的单元 - 无需冗长的定制发电机交货时间。高质量的组件和较少的零件数量可大限度地提高可靠性和产品寿命，充分利用您的投资和工艺生产力。 一个高度直观的操作菜单，可在设备的活动前面板上访问并显示在大型 LCD 上，提供了便利性——提高了操作员的效率并大限度地降低了培训成本。经济的 Cesar RF 电源平台包括多种型号，每种型号都具有独特的功能集，以适应大多数要求苛刻的基于等离子的应用。

性能特点

增加流程正常运行时间

增强的操作简便性和灵动性

无需定制单元交货时间的定制性能

长期易用性和成本节约

紧凑、流线型设计

标准平台包装

效率高——产生的热量更少

两个模拟用户端口选项

基于 Advanced Energy 标志性的 Paramount RF 发生器平台，Paramount HP 10013 为更高功率应用提供全数字控制和动态等离子体响应。 具有低平均功率，实现准确且可重复的脉冲功率。 随着半导体工艺的发展，高纵横比器件需要高等离子体密度，同时保持低平均工艺功率。 派拉蒙 HP 10013 可实现高瞬时峰值功率，同时将平均过程功耗降至低。派拉蒙 HP 10013 使用数字架构，可实现准确的过程测量和控制，并提供与不断增长的制造需求保持同步所需的适应性。

性能特点

增强的等离子体稳定性和工艺可重复性

准确的射频控制

对等离子变化的快速响应

满足特定应用需求的灵动性和适应性

全数字控制

实时功率和阻抗测量

严格调节的输出功率

电弧管理