多功能 Apex系列射频发生器可提供非常高的功率密度和功率传输一致性。 先进的射频转换技术不仅提高了产品和工艺的可靠性，而且通过去除对前端 DC-DC 转换组件的需求，提高了成本效益。 异常快速和灵敏的电弧处理技术还可以提高产量并降低 CoO。 对于半导体、平板显示器或数据存储制造的等离子薄膜工艺的良好性能，Apex 平台是理想的选择。 凭借其独特的模块化设计——在一个非常紧凑的封装中，它可以直接安装在腔体上——Apex 平台还可以高度定制以满足您的特定工艺需求。

性能特点

更高的功率密度

提高工艺灵动性

增加产量

降低成本

简化流程工具集成

灵活的通讯

流线型设计

宽带控制回路和可选的高重复率脉冲

坚固且多功能的 Cesar平台提供一致的射频功率传输性能，以及多种型号选择，每种型号都具有一组独特的特性和功能（2、4、13.56、27.12 和 40.68 MHz；0.3 至 5 kW；具有多种用户界面和输入选项）。 这使您能够选择一个特别适合您的应用程序的单元 - 无需冗长的定制发电机交货时间。高质量的组件和较少的零件数量可大限度地提高可靠性和产品寿命，充分利用您的投资和工艺生产力。 一个高度直观的操作菜单，可在设备的活动前面板上访问并显示在大型 LCD 上，提供了便利性——提高了操作员的效率并大限度地降低了培训成本。经济的 Cesar RF 电源平台包括多种型号，每种型号都具有独特的功能集，以适应大多数要求苛刻的基于等离子的应用。坚固且多功能的 Cesar平台提供一致的射频功率传输性能，以及多种型号选择，每种型号都具有一组独特的特性和功能（2、4、13.56、27.12 和 40.68 MHz；0.3 至 5 kW；具有多种用户界面和输入选项）。 这使您能够选择一个特别适合您的应用程序的单元 - 无需冗长的定制发电机交货时间。高质量的组件和较少的零件数量可大限度地提高可靠性和产品寿命，充分利用您的投资和工艺生产力。 一个高度直观的操作菜单，可在设备的活动前面板上访问并显示在大型 LCD 上，提供了便利性——提高了操作员的效率并大限度地降低了培训成本。经济的 Cesar RF 电源平台包括多种型号，每种型号都具有独特的功能集，以适应大多数要求苛刻的基于等离子的应用。