EBPG Plus 是一种的电子束光刻系统。这个经过现场验证且成功的系列现在已经了进一步的进化水平。凭借100 kV 写入模式和5 nm 以下的高分辨率光刻,它涵盖了各种纳米设施中直接写入纳米光刻、工