KLA - TENCOR品牌介绍

KLA - TENCOR品牌介绍：

KLA-Tencor公司为专业美资半导体（芯片）设备供货商，公司总部在美国硅谷，拥有 6000 多名员工，自1976年成立以来不断致力于产品研究与发展，客户提供更完善更人性化服务，并协助半导体（芯片）厂商创造高品质、高效率的产品，目前分公司遍布美洲、欧洲、亚洲等国家。KLA-Tencor 始终致力于帮助其客户降低运营成本并增加收益，并已经成为其坚定不移的长期合作伙伴。

KLA-Tencor主要产品:

CS20光学表面分析仪

WaferSight PWG 已图案晶圆几何形状测量系统

LMS IPRO6 光罩图案位置测量系统

K-T Analyzer 9.0 先进数据分析系统

2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统

Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统

Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷

Teron  SL650 光罩检测系统

处理450mm硅片的Surfscan SP3系统

KLA-Tencor Candela CS20 系列光学表面分析仪 (OSA) 可对半导体与光电子材料进行先进的表面检测。CS20 系列检测能够为硅 (Si)、砷化镓 (GaAs)、磷化铟 (InP) 等不透明基板，以及碳化硅 (SiC)、氮化镓 (GaN)、蓝宝石和玻璃等透明材料的检测提供工艺控管和良率改善。

CS20 系列采用光学表面分析(OSA) 专有技术，可同时测量散射强度、形状变化、表面反射率和相位转移，为日益增大的特征缺陷 (DOI)进行自动侦测与分类。OSA 检测技术结合散射测量、椭圆偏光法、反射测量与光学形状分析等基本原理，以非破坏性方式对硅片表面的残留异物、表面与表面下缺陷、形状变化和薄膜厚度均匀性进行检测。CS20 系列拥有极高的灵敏度、吞吐量和多功能性，适用于工艺开发和生产工艺控管，是一套极具成本效益的解决方案。

单次扫描中结合四种光学检测方法的单机解决方案，可实现很高效的自动化缺陷侦测与分类

满足多种工业要求，包括高亮度发光二极管 (HBLED)、高功率射频 (RF) 电子装置及玻璃展柜等技术

2英寸硅晶片吞吐量高达每小时40片，8英寸硅晶片吞吐量高达每小时20片

采用高级算法，可处理各种材料超过 30 个DOIs的缺陷分类

快速的完整硅晶片粗糙度监控与表面均匀度测绘

详细参数

单次扫描中结合四种光学检测方法的单机解决方案，可实现最高效的自动化缺陷侦测与分类

满足多种工业要求，包括高亮度发光二极管 (HBLED)、高功率射频 (RF) 电子装置及玻璃展柜等技术

2英寸硅晶片吞吐量高达每小时40片，8英寸硅晶片吞吐量高达每小时20片

采用高级算法，可处理各种材料超过 30 个DOIs的缺陷分类

快速的完整硅晶片粗糙度监控与表面均匀度测绘