英福康CUBE™ CDGSCI电容式隔膜仪

英福康CUBE™ CDGSCI电容式隔膜仪产品介绍

      高端 INFICON CUBE™ CDGSCI电容隔膜仪器是最准确的（≤ 0.025 % Rd 精度；≤ 50 ppm FS 重复性）和最稳定的真空计（< 5 ppm FS/°C 温度稳定性；< 70 ppm FS/年长期）稳定）。Cube 被设计为用于标准化真空测量系统的纯参考设备，是真空研究应用的唯一选择。久经考验的 INFICON 温控、耐腐蚀超纯陶瓷传感器是 Cube 卓越性能的核心。Cube 通过无线或有线以太网接口连接的 20 位模拟输出和 RS232-C、TCP/IP 和 HTML 数字输出在现代通信和用户灵活性方面树立了新标准。每台设备都带有质量保证证书，由 Cube 领先的产品研究人员亲笔签名。

英福康CUBE™ CDGSCI电容式隔膜仪好处

真正的高精度压力测量——陶瓷技术

完全稳定的输出 – 由 PTB 证明

灵活的通信 - 各种现代界面

集成所有功能 – 无需控制器

直接安装到腔室 - 优化重心

无需隔离阀即可运输

英福康CUBE™ CDGSCI电容式隔膜仪典型应用

转移标准

主要参考量规

研究

内部标准

英福康CUBE™ CDGSCI电容式隔膜仪技术规格

类型 1000托 100 ... 1 托 100mTorr

精度 (1) 阅读百分比 0.025 0.025 0.05

温度效应

在零 百分比FS/°C 0.0005 0.0005 0.005

在跨度上 % 读数 / °C 0.001 0.001 0.01

压力，最大值 酒吧（绝对） 3 2.5 1.5

最低读数 百分比FS 0.01 0.01 0.01

最低建议阅读量 百分比FS 0.05 0.05 0.05

温度

操作（环境） ℃ +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40

贮存 ℃ –10 … +50 –10 … +50 –10 … +50

电源电压 +14 … +30 VDC 或 ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC 或 ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC 或 ±15 V (±5%)

能量消耗

加热过程中 宽 ≤20 ≤20 ≤20

在工作温度 宽 ≤17 ≤17 ≤17

输出信号（模拟） 伏（直流） 0 … +10 0 … +10 0 … +10

响应时间 (2) 多发性硬化症 100 100 100

防护等级 知识产权 40 知识产权 40 知识产权 40

标准

CE符合性 CE符合性 EN 61000‑6‑2/-6-3、EN 61010 和 RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3、EN 61010 和 RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3、EN 61010 和 RoHS

ETL认证 ETL认证 UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1、CSA 22.2 No.61010‑1

SEMI 合规性 SEMI 合规性 半 S2 半 S2 半 S2

电气连接 D-sub，15 极，公；2 x LEMO 同轴电缆；以太网 FCC D-sub，15 极，公；2 x LEMO 同轴电缆；以太网 FCC D-sub，15 极，公；2 x LEMO 同轴电缆；以太网 FCC

设定点

设定点数 设定点数 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)

继电器触点

伏（直流）

≤30 ≤30 ≤30

滞后 百分比FS 1 1 1

诊断端口

协议 协议 网页、REST 服务、RS232-ASCII 网页、REST 服务、RS232-ASCII 网页、REST 服务、RS232-ASCII

读 读 压力、状态、ID 压力、状态、ID 压力、状态、ID

放 放 设置点、过滤器、调零、恢复出厂设置、直流偏移 设置点、过滤器、调零、恢复出厂设置、直流偏移 设置点、过滤器、调零、恢复出厂设置、直流偏移

暴露在真空中的材料 氧化铝陶瓷（AI 2 O 3），不锈钢（AISI 316L (3)） 氧化铝陶瓷（AI 2 O 3），不锈钢（AISI 316L (3)） 氧化铝陶瓷（AI 2 O 3），不锈钢（AISI 316L (3)）